ICP光谱法是20世纪60年代提出并在70年代迅速发展的分析方法。icp光谱仪是一种多元素序贯测量的分析仪，主要用于微量元素的分析，可分析的元素有多种金属和硅、磷、硫等少量非金属共72种。在物理学、化学、生物学和天文学等基础学科的研究以及冶金、地矿、建材、机械、化工、农业、环境保护、食品和医药等国民经济的重要部门有广泛的用途。
ICP也可以作为以空心阴极灯为光源、以ICP为原子化装置的原子荧光光谱仪那样的原子化装置使用。这种装置不采用单色器，以ICP为中心在周围设置多个检测单元，每种元素安装一个检测单元，形成多元素分析系统。
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